敞开式直线光栅尺
标准的 LIP 和 LIF 光栅尺为刻在钢标尺带上的相位光栅(LIP)或刻在玻璃标尺上的相位光栅(LIP 和 LIF)。
LIDA 类型的光栅尺是在钢标尺带上刻蚀反射率较高的金条纹,称做AURODUR光栅。
LIM 为磁栅尺,采用磁扫描原理。
PP 为刻在玻璃上的两维相位光栅,采用光衍射扫描原理,与 LIP 和 LIF光栅尺的扫描原理类似。这种结构的光栅可以在平面内测量。
敞开式直线光栅尺
| 测量步距 | 型号 | 带相位光栅 | 1 μm 到 0.001 μm | LIP | 钢标尺带 | 1 μm 到 0.1 μm | LIDA | 玻璃标尺带 | 1 μm 到 0.1 μm | LIF | 磁扫描 | 到 0.01 mm | LIM | 两维光栅 | 到 0.01 μm | PP |
|