Ø 测量效率高,一次测量过程全部记录,使用回放功能可全自动测量相同工件。Ø 可操作性强,X轴增加手动旋钮,提供了更多的测针定位和移动方式。Ø 自动停止功能,测针在垂直方向接触工件会自动停止并归零,不必担心测针过载Ø 可加配倾斜装置,提高产品的测量范围。Ø 应用领域广泛,除了常用
型号 SURFCOM 1400G
测量范围
Z 轴(纵向): 800μ m
X 轴(横向): 100 mm 200 mm
测量分辨率:0.02μ m~ 0.0004μ m (0.0001μ m,使用高倍率传感器 )
X轴指示精度(横向) ±(1+2L/100)μ m (L :测量长度 mm),测量分辨率0.1μ m
驱动部:直线度精度0.05+1.5L/1000μ m (L :测量长度 mm)
检测方式:莫尔光栅尺线性光栅尺
分析项目
对应标准对应JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO 标准
参数
Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,
TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,
AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR
评价曲线
断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波ZX線うねり曲線、転がり円うねり曲線、
断面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波ZX线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆ZX线波纹度曲线、
DIN4776特殊曲线、粗糙度Motif曲线、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线
特性曲线负荷曲线、振幅分布曲线、功率曲线图
倾斜补偿方法:直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、样条补偿(直线补偿、R面补偿及两端补偿可在任意范围进行补偿)
倍率
纵向倍率(Z 轴) 50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、10 k 、20 k 、50 k 、100 k 、200 k* 、500 k*、自動
横向倍率(X 轴) 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、自動
滤波器种类标准型滤波器(2RC)、相位补偿型滤波器(2RC)、相位补偿滤波器(高斯)
测量速度 0.03、0.06、0.15、0.30、0.60、1.5、3、6mm/s( 8速)
立柱上下运动速度:(Z 轴) 10 mm/s
检测方式:差动变压器
测量力:0.75 mN
测针半径(测针材质) 粗糙度测针:2μm R(60°圆锥金刚石) 波纹度齿轮头:800μm R(红宝石球)各1 个 标准配置
立柱上下移动行程:250 mm
尺寸:600×317 mm