UP超纯水电导率≤0.055μs/cm@25℃;电阻率:18.25MΩ.cm@25℃ 达到美国CAP、ASTM、NCCLS标准及ZG国家电子一级超纯水标准 微粒子/颗粒物(大于0.1μm)含量: 1/ml 热源含量:<0.005Eu/ml 微生物/菌落数含量:<1cfu/ml 总有机碳量TOC:≤5ppb 金属阳离子含量(单位PPb): Fe(铁)<0.005 Cu(铜) <0.005 Al(铝) <0.005 Ni(镍) <0.005 Zn(锌) <0.02 Cr(铬) <0.005 Na(铝) <0.01 K(钾) <0.02 阴离子含量(单位PPb): C1-(氯)<0.01 NO2-(亚硝酸根) <0.02 NO3-(亚硝酸根) <0.02 SO42-(硝酸根) <0.01 |