采用龙门式结构(桥架式)，结构稳定不变形，主要运用在PCB线路板、覆铜板、平板玻璃、液晶模组、刀模、绝缘材料等。
 该系列气浮式大行程影像测量仪采用龙门式结构（桥架式）运行性能稳定，且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可保证电机在中、高速动动时的稳定性，和准确的定位功能，影像Z轴可自动对焦、配合美国Navitar自动变焦镜头，可实现自动变焦而不需倍率校正。 |  |
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| 影像测量仪系列型号 | VMS6040（气浮型） | ||||||||||
| 工作台 | 金属台面尺寸（mm） | 730×530 | |||||||||
| 玻璃台面尺寸（mm） | 650×450 | ||||||||||
| 运动行程（mm） | 600×400 | ||||||||||
| Z轴升降行程 | 200mm | ||||||||||
| 工作距离 | 92mm | ||||||||||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | ||||||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤（3+L/200）μm | ||||||||||
| 影像系统 |
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| 测量系统 | Mclns全自动测量软件 | ||||||||||
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