供应管式电阻炉_详细资料

产品信息

RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。

管式电阻炉
应用领域
RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。
主要特点
采用精炼石英管或高纯刚玉管作为炉膛，可拆卸的密封方式，具有良好的洁净度和真空度，耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝；温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、均匀性。
技术指标

设备型号

RGDL（D）

2/80/44

RGDL（Z）

1/60/30

RGDL（G）

3/60/60

RGDL（D）

1/50/70

RGDL（Z）

2/30/60

RGDL（G）

1/50/80

温区个数

2

1

3

1

2

1

温度

1100℃

1400℃

1650℃

1200℃

1400℃

1650℃

加热区长度

440mm

300 mm

600 mm

500 mm

600 mm

500 mm

炉管尺寸及材料

Φ80石英管

Φ60刚玉管

Φ60刚玉管

Φ70石英管

Φ60高纯刚玉管

Φ80高纯刚玉管

装机功率

5kw

8kw

18kw

8kw

10kw

12kw

备注：RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体，通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空，系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa 。

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