特点: *分辨率为0.1/0.5μm时,精度可高达(1.3+0.6L/600)μm; *确保垂直度(前部)达6μm,直线度达4μm; *全/半空气浮动系统可调节气垫; *GO/NO-GO LED显示. *带有基本统计功能,另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连, 可实现外部测量数据评估; *大容量数据存储,可储存50个测量程序和60000个测量结果
技术参数:
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