| 超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃；电阻率：18.25ΜΩ·cm@25℃ 达到美国CAP、ASTM、NCCLS标准 微粒子（大于0.05μm）含量：﹤1/ml 热源含量：﹤0.001Eu/ml 微生物含量：﹤1cfu/ml 总有机碳量TOC≤3ppb 金属阳离子含量（单位ppb）： Fe（铁） ﹤0.005 Cu（铜） ﹤0.005 Al（铝） ﹤0.005 Ni（镍） ﹤0.005 Zn（锌） ﹤0.02 Cr（铬） ﹤0.005 Na（钠） ﹤0.01 K（钾） ﹤0.02 阴离子含量（单位ppb）: Clˉ（氯） ﹤0.01 NO2ˉ（亚硝酸根） ﹤0.02 NO3ˉ（硝酸根） ﹤0.02 SO4²ˉ（硫酸根） ﹤0.01 | 
