CMS系列真空高温管式炉专门设计用于高温工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,进口优质微波源加热,优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空,气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备一
实验微波真空炉|微波气氛实验炉iphone5试验/实验用微波真空高温管式炉
设 备 型 号 | NT-CVD(G)-08/50/1 |
温区温度 | 1650℃;(Z长恒温时间:≥10小时); |
加热有效容积 | Φ72(内经)×500mm;恒温区尺寸:Φ72(内经)×250mm |
炉管实际尺寸 | Φ80(外径)×1400mm (国产优质刚玉管) |
炉 膛 材 料 | 氧化铝纤维制品 |
控制温区点数 | 1个,1支B分度热偶 |
设备温场温差 | ±1℃ , |
加 热 元 件 | 优质进口微波源 |
加热功率 | 4Kw |
保 温 功 率 | 1kw |
升温速率 | 10℃∽120℃/min; |
降温速率 | 3℃∽7℃/min |
温度均匀性 | ±3℃(有效范围:Φ72×250mm) |
气路配件材料 | 气路配件材料,端头不锈钢发兰密封,一路气体采用浮子流量计控制,所有管道和阀门采用不锈钢元件 |
极 限 真 空 | ≤10Pa(常温) ,一级机械泵(配电磁阀)。 |
压升率 | ≤5Pa/h |
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