产品名称: DVIM系列空气注入式光学平台 产品类别: 激光系列产品 → 光学平台 产品编号: 31911353316
特点 ·有170/195MM两种,方便使用且占用空间小。 ·可以以单体的形式简便安装于设备上。 ·满足隔振性能和刚性 。 ·底板移动时,使上板的移动Z小化,缩短回复静止时间。 ·非常安静,可以在x-y轴上保持安静的有效载荷。 ·拆装敏捷,快速。 用途 ·x-y 布置系统 ·制造业/裂变产物探测装备,半导体 ·激光处理仪 ·坐标测量仪 ·AFM/STM SEM/透射电子显微镜 ·精密测量仪 |
常规技术条件
·震动隔离:气垫隔离
·固有频率:(垂直/水平)2.3-2.6Hz
·Roll-off Rate[10Hz]: over -20-24dB
·水平方式:由3个自动调平阀自动调平系统
·水平复位精度:±0.05/±0.1
·工作条件 : 4~6kg / 压缩空气或瓶装液氮
型号表
产品型号 | DVIM-M-150 | DVIM-M-300 | DVIM-M-600 | DVIM-M-900 |
长,宽,高 | 180×180×170 | 200×200×170 | 240×240×170 | 260×260×195 |
固定孔距 | 160 | 180 | 210 | 230 |
直径 | ¢10 | ¢10 | ¢10 | ¢14 |
承重量(Kg) | 150 | 300 | 600 | 900 |
自重(Kg) | 11 | 14 | 22 | 38 |
产品型号 | DVIM-M-1200 | DVIM-M-1500 | DVIM-M-2000 |
长,宽,高 | 290×290×195 | 320×320×195 | 370×370×195 |
固定孔距 | 260 | 290 | 340 |
直径 | ¢14 | ¢14 | ¢14 |
承重量(Kg) | 1200 | 1500 | 2000 |
自重(Kg) | 46 | 53 | 57 |
产品型号 | DVIM-M-2500 | DVIM-M-3000 | DVIM-M-4000 |
长,宽,高 | 390×390×195 | 440×440×195 | 490×490×195 |
固定孔距 | 360 | 410 | 460 |
直径 | ¢14 | ¢14 | ¢14 |
承重量(Kg) | 2500 | 3000 | 4000 |
自重(Kg) | 68 | 85 | 110 |