气体供应商提供的高纯气体在输送过程中由于环境的原因,会产生污染,使气体的纯度降低,这对于某些领域是不允许的。如单晶硅的拉制,半导体、大规模集成电路的研制和生产等。在这种场合下,一般采用气体终端净化器,以保证向生产过程中供气的质量。
北氧Pai高纯氩气终端纯化器采用组合式净化氮气的工艺路线,净化原理是:原料气首先通过催化反应器,由GX催化氧化剂氧化脱除氢、一氧化碳、甲烷(烃类)等杂质,然后通过除氧器由脱氧剂脱氧,通过吸附器由分子筛吸附微量水、二氧化碳,得到高品质的高纯气体。如气体纯度要求达到>99.9999%,则采用活性金属合金吸收残余的氮气中杂质,得到超高纯氩气。
处理气量:0.5-3000m3/h
氮气纯度:99.999-99.99999%