OLYMPUS MX80 产品特性 ● 显微镜观察所需操作基本电动化,极大提高工作效率 ● 观察条件可设定并存储,使每个操作者得到Z适宜自己的观察条件 ● 两种尺寸载物台可选:分别用于200mm晶圆和300mm晶圆 ● 内置式自动聚焦和手动聚焦两种镜体可选
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OLYMPUS MX80 技术规格 |
MX80 目镜/物镜: UIS 目镜 F.N.26.5 UIS 物镜 物镜适配器,配合明视野物镜
MX80 显微镜镜体: 兼容镜体 适用于200/300mm晶圆观测,一个RS232C外部通讯接口。 电动对焦部件: 垂直行程25mm;Z轴向分辨率50nm(带50倍或更高放大倍率的物镜) 各物镜可进行对焦调节;高度限制;载物台降低(返回可设定)
MX80 反光照明: 照明(一体化)系统: 电动选择观测系统(4组分光镜选择,用于明视野法、暗视野法、偏振光和荧光照射观测) 自动聚焦(一体化)系统: 激光主动法。波长:λ=780nm,CDRH 1级兼容。 |