基于25年涂镀层测量经验,在CMI900系列测厚仪的坚实基础上,引进全新的设计:
- 新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的大的X射线管。提高30%测量精度,同时减少50%测量时间
- 更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器,可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置,同时提供更高精度的Y轴控制。
- 距离独立测量(DIM) - 更灵活地特殊形状样品,可在DIM范围内12.5-90mm(0.5-3.5inch)对样品表面进行测量,Z轴可控制范围为230mm(9inch)。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。
- 自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离,改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
- 全新的大型样品室 - 更大的开槽式样品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
- 3种样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制(250x250mm或10x10英寸)/固定样品台;标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。
- 内置PC用户界面
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