HEIDENHAIN增量式光栅尺

HEIDENHAIN增量式光栅尺

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HEIDENHAIN增量式光栅尺

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HEIDENHAIN增量式光栅尺

光栅尺，也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。例如，在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测，来观察和跟踪走刀误差，以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。
光栅尺按照制造方法和光学原理的不同，分为透射光栅和反射光栅。

680983-03

533110-02

534904-04

393000-14 AE ERM 280

1131753-17 ROQ425

376837-02 ROD 436 2048

232715-03 MT 25P 02S09 04 

331667-01

651871-01 AK LIC 401 

658492-01

310127-03

594878-01

369428-01 AK LIDA 48

332433-05

810800-24 ECN 113-2048

533631-03 PWM 20/IK 215 

533631-03 PWM 20/IK 215 

360645-06

1117852-03

805375-03

310128-06

337147-01

310125-03

310573-03

369129-03 PWM 20/IK 

727222-57 ERN 1381-2048

337148-01

359651-02 CC 422

358699-03 RON 285 18000

535046-N2

318118-07 AK LIDA 18C

810416-01

810421-01

557647-08

643450-03 PWM 20/IK

1131752-06 ROQ424 512

209081-16 LS903 520

232715-03 MT 25P 02S09 04 

617765-N2

348249-01

810415-01

533631-05

823901-52 EQN 1325

533631-06

805452-03

533631-09

735117-56

533110-01

355884-01 RON 786 18000 

310128-03

557673-14

557679-11 LC 183 ML 1140mm

331589-2F AK ERA 180 18000 02S12-03

243602-06 MT 12 02S09 04

810800-24 ECN 113-2048

894602-01 DA 400

331314-02 MT 1281 02S12 03

376846-KA ROD426400002S12-03

635066-56 ERN 1381 2048 62S14-70

605379-01 LS 477 ML70mm

682434-08 LF185C 740

HEIDENHAIN增量式光栅尺

光栅尺是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。 
光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。

以透射光栅为例，当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度θ，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹” (右图所示)。严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。莫尔条纹中两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的宽度，以W表示。
[莫尔条纹] 莫尔条纹
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。 [1] 
莫尔条纹具有以下特征：
(1)莫尔条纹的变化规律
两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。
(2)放大作用
在两光栅栅线夹角较小的情况下，莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中，θ的单位为rad，W的单位为mm。由于倾角很小，sinθ很小，则
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，则上式可得W=1，即光栅放大了100倍。
(3)均化误差作用
莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成，例如每毫米100线的光栅，10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹，这样栅距之间的相邻误差就被平均化了，消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差。

光栅尺检测与数据处理

电子细分与判向法
光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。为了提高系统分辨率，需要对莫尔条纹进行细分，目前（2006年）光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。
在一个莫尔条纹宽度内，按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如，栅线为50线对/mm的光栅尺，其光栅栅距为0.02mm，若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲，这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量，即要检测其大小，又要检测其方向，因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波，通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端，从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2，为得到判向和计数脉冲，需对这两路信号进行整形，首先把它们整形为占空比为1：1的方波。然后，通过对方波的相位进行判别比较，就可以等到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数，可以等到光栅尺的位移和速度。

533631-03  PWM 20/IK 215 
607720-01  
760907-09  LC 195F ML 940mm 
533631-09  
360645-03  CABLE 3m
533631-03  PWM 20/IK 215 
533631-01  CABLE 1m
393000-15  
735117-53  
727222-56  
727222-56  
315420-04  
1065932-11  ECN 413 2048
727222-56  
749147-02  
557654-02  
341240-18  LC 181 ML2040mm
557679-12  LC 183 ML 1240mm
376840-C4  
557673-12  LC193M/50nm ML1240mm
521289-53  ERN 1385 2048 62S14-70 F10
557679-01  LC 183 ML 140mm
536300-04  
823901-52  EQN 1325
534901-53  ROD 1030
376846-KA  ROD426400002S12-03
533631-09  
360645-03  CABLE 3m
533631-03  PWM 20/IK 215 
533631-01  CABLE 1m
393000-15  
735117-53  
727222-56  
727222-56  
315420-04  
1065932-11  ECN 413 2048
727222-56  
749147-02  
557654-02  
341240-18  LC 181 ML2040mm

光栅技术里程碑 

1936
 
用照相制版生产玻璃光栅尺，精度± 0.015 mm
 
1943
 
用制版技术生产圆光栅，精度± 3秒
 
1952
 
重量秤成为主要收入来源 
 
1967
 
自持光栅，显微结构 
 
1985
 
增量式直线光栅尺的距离编码参考点 
 
1986
 
相位光栅 
 
1995
 
二维编码器格栅 
 
2002
 
干涉扫描直线光栅尺的平面相位光栅 
 
2005
 
抗污染的幅值光栅，激光烧蚀法生产
 
2009
 
大型二维格栅（400 mm x 400 mm），用于半导体工业的测量系统
 
编码器里程碑： 敞开式直线光栅尺 
1952
 
机床的光学直线光栅尺 
 
1961
 
LID 1增量式直线光栅尺，栅距8 μm / 测量步距2 μm 
 
1963
 
LIC式直线光栅尺，18条刻轨，纯二进制编码 / 测量步距5 μm
 
1965
 
激光干涉仪，用于机床校准

1987
 
LIP 101敞开式干涉扫描直线光栅尺，测量步距0.02 μm
 
1989
 
LIP 301敞开式干涉扫描直线光栅尺，测量步距1 nm
 
1992 PP 109R二维干涉扫描直线光栅尺 

2008
 
LIP 200干涉扫描直线光栅尺，信号周期0.512 μm，运动速度3 m/s
 
2010
 
LIC 4000式敞开直线光栅尺，2条刻轨，伪随机码，EnDat 2.2，测量长度27 m和分辨率 
1 nm
 
2012
 LIC 2100式单条刻轨直线光栅尺  
2015 LIP 6000紧凑型干涉扫描直线光栅尺 

HEIDENHAIN增量式光栅尺

光栅尺线位移传感器的安装比较灵活，可安装在机床的不同部位。
一般将主尺安装在机床的工作台（滑板）上，随机床走刀而动，读数头固定在床身上，尽可能使读数头安装在主尺的下方。其安装方式的选择必须注意切屑、切削液及油液的溅落方向。如果由于安装位置限制必须采用读数头朝上的方式安装时，则必须增加辅助密封装置。另外，一般情况下，读数头应尽量安装在相对机床静止部件上，此时输出导线不移动易固定，而尺身则应安装在相对机床运动的部件上（如滑板）。
1、光栅尺线位移传感器安装基面
安装光栅尺传感器时，不能直接将传感器安装在粗糙不平的机床身上，更不能安装在打底涂漆的机床身上。光栅主尺及读数头分别安装在机床相对运动的两个部件上。用千分表检查机床工作台的主尺安装面与导轨运动的方向平行度。千分表固定在床身上，移动工作台，要求达到平行度为0.1mm/1000mm以内。如果不能达到这个要求，则需设计加工一件光栅尺基座。
基座要求做到：(1)应加一根与光栅尺尺身长度相等的基座（基座长出光栅尺50mm左右）。(2)该基座通过铣、磨工序加工，保证其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外，还需加工一件与尺身基座等高的读数头基座。读数头的基座与尺身的基座总共误差不得大于±0.2mm。安装时，调整读数头位置，达到读数头与光栅尺尺身的平行度为0.1mm左右，读数头与光栅尺尺身之间的间距为1~1.5mm左右。
2、光栅尺线位移传感器主尺安装
将光栅主尺用M4螺钉上在机床安装的工作台安装面上，但不要上紧，把千分表固定在床身上，移动工作台（主尺与工作台同时移动）。用千分表测量主尺平面与机床导轨运动方向的平行度，调整主尺M4螺钉位置，使主尺平行度满足0.1mm/1000mm以内时，把M2螺钉彻底上紧。
在安装光栅主尺时，应注意如下三点：
(1) 在装主尺时，如安装超过1.5M以上的光栅时，不能象桥梁式只安装两端头，尚需在整个主尺尺身中有支撑。(2)在有基座情况下安装好后，用一个卡子卡住尺身中点（或几点）。(3)不能安装卡子时，用玻璃胶粘住光栅尺身，使基尺与主尺固定好。
3、光栅尺线位移传感器读数头的安装
在安装读数头时，首先应保证读数头的基面达到安装要求，然后再安装读数头，其安装方法与主尺相似。调整读数头，使读数头与光栅主尺平行度保证在0.1mm之内，其读数头与主尺的间隙控制在1~1.5mm以内。
4、光栅尺线位移传感器限位装置
光栅线位移传感器全部安装完以后，一定要在机床导轨上安装限位装置，以免机床加工产品移动时读数头冲撞到主尺两端，从而损坏光栅尺。另外，用户在选购光栅线位移传感器时，应尽量选用超出机床加工尺寸100mm左右的光栅尺，以留有余量。
5、光栅尺线位移传感器检查
光栅线位移传感器安装完毕后，可接通数显表，移动工作台，观察数显表计数是否正常。
在机床上选取一个参考位置，来回移动工作点至该选取的位置。数显表读数应相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表与数显表同时调至零（或记忆起始数据），往返多次后回到初始位置，观察数显表与千分表的数据是否一致。
通过以上工作，光栅尺线位移传感器的安装就完成了。但对于一般的机床加工环境来讲，铁屑、切削液及油污较多。因此，传感器应附带加装护罩，护罩的设计是按照传感器的外形截面放大留一定的空间尺寸确定，护罩通常采用橡皮密封，使其具备一定的防水防油能力。

HEIDENHAIN增量式光栅尺

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