价格区间 面议 组件类别 光学元件
SUSS微透镜阵列产品
SUSS MicroOptics通过使用反应离子蚀刻（RIE）将所需结构转移到基板，在硅和熔融石英中以晶圆级制造定制单片微光学器件。 该技术提供了出色的分辨率和均匀性，并且可以结合复杂的形式，例如沟槽，空腔，基座，对准点和识别标记。 组件可以是AR涂层和/或金属化的，并以多种格式提供。
我们提供设计支持，可行性研究，原型设计和批量生产。
折射微透镜
光纤与PIC波导耦合器
Materials材质 | Fused silica (various grades), Silicon |
NA | Typ. 0.1 to 0.6 |
Fiber/ WG types光纤/波导类型 | SMF, MMF (FMF & special waveguide modes possible) |
Back focal distance后焦距 | Typ. 0 - 300 μm |
Pitch | According to customer requirement |
Lens type透镜类型 | Circular, cylindrical |
Lens profile透镜配置 | Spherical, aspherical (DOE, Fresnel lenses also available) |
Arrays阵列 | Linear, quadratic, hexagonal, custom |
No. lenses per array每阵列透镜数 | According to customer requirement |
AR coatingAR涂层 | UV, VIS, NIR – front side, back side, against air or glue |
光束均匀器---成像和非成像
Angular spectrum角谱 | Typ. < 1 – 20 degrees |
Material材质 | Fused silica (various grades), Silicon |
Area of illumination照明区域 | Linear, circular, rectangular, square |
AR coatingAR涂层 | UV, VIS, NIR – front side, back side, to air, to glue |
Lens array dimensions透镜阵列尺寸 | According to customer requirement |
慢轴准直器
Materials材质 | Fused silica (various grades), Silicon |
NA | Typ. 0.1 to 0.6 |
Fiber/ WG types光纤/波导类型 | SMF, MMF (FMF & special waveguide modes possible) |
Back focal distance后焦距 | Typ. 0 - 300 μm |
Pitch | According to customer requirement |
Lens type透镜类型 | Circular, cylindrical – fast and slow axis |
Lens profile透镜配置 | Spherical, aspherical |
Arrays阵列 | Quadratic, hexagonal, custom |
No. lenses per array每阵列透镜数 | According to customer requirement |
AR coatingAR涂层 | UV, VIS, NIR – front side, back side, to air, to glue |
SHACK-HARTMANN 阵列
Materials材质 | Fused silica (various grades), Silicon |
Lens Diameter透镜直径 | 30 μm to 2.0 mm |
F-number (F#) | Typ. F/5 to F/100 |
Effective front focal length有效前焦距 | Typ. 1 to 100 mm |
Wavefront error (Surface profile deviation, rms error) 波前误差（表面轮廓偏差，rms误差） | Typ. 10 to 50 nm |
Array size阵列尺寸 | According to customer requirement |
AR coatingＡＲ涂层 | UV, VIS, NIR – front side, back side, to air, to glue |
衍射光学
可以使用衍射光学元件（DOE）代替微透镜，其中应用中的尺寸或重量是关注的。 它们也是出色的光束均匀器和整形器，并且 - 与它们的微透镜对应物不同 - 对它们产生的照明没有形状限制。
在确定元素规格之前，我们为DOE提供设计建议和试验想法。
材料：熔融石英（各种等级）和硅
2（二进制）到16级
类型：重叠误差<70 nm
Z小特征尺寸：500nm至1μm，取决于台阶高度和/或蚀刻深度
效率：高达98％
Nipkow光盘和针孔光盘
我们制造高质量的Nipkow和针孔圆盘，共聚焦显微镜的组成部分。我们的光盘支持生成高对比度，清晰聚焦的图像以及生物和其他微型难以成像结构的3D重建。我们的部件构成了许多领先系统的支柱。
其他选项
交付选项 - 根据数量和客户要求的不同选择，包括管，膜盒和胶带。
计量 - 每次交付都提供标准报告，可根据要求进行其他测量。
涂层和金属化 - 大多数波段的单层和宽带抗反射（AR）涂层，以及铬，黑铬和铝涂层;可根据要求提供其他涂层。
对齐和识别标记
设计支持 - 我们提供建议，以简化可行性和原型设计到批量的设计。
数量 - 我们在晶圆级制造，可以从几件产品到完整的生产线。
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