主要特点:
1. 体积小、操作简单、性能强(4nm@20kV)、扩展功能丰富
2. 拥有多个探测器(SE、BSE)
3. 拥有低真空功能,不导电和含水样品直接观察
4. 标配五轴样品台(三轴马达)
5. 可选可变压力探测器UVD,实现高真空光信号(如CL)观察
6. 可选SEM-MAP光镜导航功能
7. 报告导出功能
应用领域:
材料科学
生命医学
食品卫生
半导体电子元器件
汽车制造
1 安装条件
1.1 电源电压 220V(±10%),50Hz
1.2 独立地线接地电阻>40 欧姆
1.3 实验室温度 15~30℃,湿度≤70%。
1.4 高分辨电镜主机设计。
2 技术要求
2.1 分辨率 SE 探头:4.0nm 20kv; 15.0nm 1kv
BSE 探头:5.0nm 20kv
2.2 加速电压:0.3k~ 20kV 连续可调
2.3 放大倍数: 6 - 300,000倍
2.4 真空系统
2.4.1 具有低真空功能,高低真空切换,不需要安装压差光阑
2.4.2 低真空:低真空(压力范围):6Pa—100Pa
2.4.3 真空泵泵系统 涡轮分子泵和机械泵各 1 台
2.5 电子光学系统
2.5.1 电子探头:具有 4 级自动偏压功能
2.5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,用户可自行更换聚光镜光阑。
2.5.3 灯丝饱和自动调节,具有高中低三个档位
2.5.4 灯丝:预对中灯丝
2.5.5 物镜光阑:4 孔可动式物镜光阑
2.6 样品室和样品台
2.6.1 样品台尺寸:装载直径≥150mm 样品
2.6.2 样品台:5 轴样品台,3 轴马达驱动
2.6.3 行程:X=40mm ;Y=50mm ; Z=5-15mm;R=3600;T=-15~+900
2.7 探测器及成像系统
2.7.1 二次电子探测器:二次电子像
高灵敏 5 分割背散射电子探测器:成分像、形貌像和三维像
2.7.2 成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像
2.7.3 图像捕捉模式:快慢扫描捕捉、积分捕捉
2.7.4 存储图像像素不小于 5120 X 3840
2.7.5 电镜操作控制系统:鼠标、键盘、旋钮盒
2.7.6自动功能:自动灯丝饱和度调整,具有高、中、低三个档位,自动电子束对中
2.7.7电子图像位移:>±50μm(WD=10mm)
2.7.8计算机操作系统:Windows 10 Pro 64位,INTEL 四核处理器,4G内存,500G硬盘,DVD
刻录光驱。
2.7.9配有图像管理软件
2.7.10 电镜操作控制系统:鼠标、键盘
2.8 美国 IXRF 能谱仪能谱仪
2.8.1 探测器元件面积:10mm2