气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。
常见的激光混合气的组成和主要用途:
类别 | 混合气组成/(10-2) | 用途 |
| H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCl | 平衡气 | |
氦氖激光混合气 | | 2-8.3 | | | | | | | | | He | 用于工业生产,科学研究和国防建设等领域 |
CO2激光混合气 | 0.4 | | | | 13.513.08.06.016.08-12 | 4.57.08.08.016.06-8 | | | 2.04.02.04.0 | | | 主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及YL上的激光外科等 |
氪氟激光混合气 | | | | | | 5.0 | 10.01-0.2 | | | | | 用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 |
密封束激 | | | | 18.5 | | | | 3 | 2.5 | | | 作研究用的密封束激 |
准分子激 | | 25.8 | 9.8 | 0.004 | | | 150.2 | | | 5.0 | ArHeHeAr | 准分子激光器用于YL上的外科手术 |
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深圳混合气体惠州激体