六氟乙烷 六氟乙烷

• 中文名称

  六氟乙烷

• 化学式

  C2F6

• CAS登录号

  76-16-4

• 熔    点

  -100.6℃

• 危险性符号

  N

• 外    观

  无色无臭气体

• 别    称

  全氟乙烷;R116制冷剂

• 危险性描述

  对环境有害

• 分子量

  138.01

• 沸    点

  -78.2℃

• 应    用

  用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂

• 密    度

  5.734 kg·m-3 (24℃)

• 英文名

  Hexafluoroethane

• 闪    点

  无意义(不燃)

• EINECS登录号

  200-939-8

• 水溶性

  0.0015%

• 危险品运输编号

  UN 2193 2.2

六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。

六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%) 

注意事项

健康危害: 本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。

环境危害: 对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。

燃爆危险: 本品不燃。