全系列电阻炉组件配置:
一、TL1400双温区CVD系统控温仪表: 采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等进口品Pai)
1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)
2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
3、带有485通讯接口(选购软件时标配)
4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能。
二、TL1400双温区CVD系统开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。
三、炉膛材料: 采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。
四、加热元件: 采用优良的加热元件, 温场均衡、使用寿命长。
五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
七、控制系统:1、电器:正泰, 2、可控硅:德国西门康106/16E, 3 触发器:移相触发。
八、选配件:1、50段程序控温, 2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器 3、炉膛尺寸可定做
4、可增加进气、排气阀门 5、炉膛材料可选进口材料 6、可选UL认证电器板
7、电器部分可选配ABB产品 8、可根据客户需求定做各种非标型号产品
TL1400双温区CVD系统控温仪表产品描述:
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。双温区的管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。