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日立新型FIB系统MI4050扫描电子显微镜是GX率的聚焦离子束设备,它使用了全新的电子光学系统,具有世界的SIM图像分辨率,并且TEM样品制备效果优异。MI4050广泛用于截面观察、微电路修复、纳米图像制备和纳米沉积等。而新开发的微样品取样、样品装载和样品导航功能则进一步提高了分析效果。
日立新型FIB系统MI4050扫描电子显微镜主要特点:
1. GX率、高质量加工,二次离子分辨率:4nm@30kV
2. 高分辨、高衬度SIM成像
3. 全自动TEM样品制备
4. 大尺寸样品加工
应用领域:
1. 纳米材料微加工
2. 半导体及电子元器件材料
3. 生命科学
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