品牌
自营品牌
升温速度(达到最高温)
10-60min
内部尺寸
φ40 60 80 100 120mm
加热方式
电阻丝 排 碳棒 硅钼棒
最大功率
1-30KW
控温精度
±1℃
最高温度
1200-1800℃
价格区间
5千-1万
仪器种类
箱式炉
产地类别
国产
高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉产品描述:
RTP快速升降温管式炉外形美观大方,结构设计先进合理。以卤素灯管为加热元件,采用双层壳体结构和智能化程序控温系统,炉膛采用多晶纤维材料,保温节能。
产品功能及特点:
1、加热元件采用卤素灯管加热,炉膛保温材料采用氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于国内纤维材料。
2、整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1000℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
3、炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
4、炉体配有:加热指示灯,炉子加热状态一目了然。
5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能。
高温实验室开启式RTP快速升降温管式炉开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用先进制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,安全可靠,炉管外径100mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热,升温速度快达30℃/S,炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
技术参数:
| 型号 | AS1200-PRT |
温度控制 | *高温度点 | 1200℃ |
额定温度 | 1100℃ |
稳定状态温度范围 | 200-1050℃ |
温度测量精度 | ±0.2℃ |
温度控制重复性 | ±1℃ |
温度控制**度 | ±1℃ |
温度均匀性 | ±2℃ |
温度状态工艺时间 | 7-32 S(200-1050℃) |
*快升温速率 | 30℃/S(可按需定制) |
降温速率 | 1-200℃(将试样移出加热区域或通氮气可加快降温) |
温度控制模式 | 智能模糊PID全闭环控制 |
触摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
物理指标 | *大功率 | 18 Kw |
额定电压 | AC380V,50/60Hz |
测温元件型号 | K型热电偶 |
石英管规格 | Φ100*1500 |
真空度 | 选配分子泵真空度可达4*10-3Pa |
抽气端口尺寸 | KF25或Φ6mm |
进气端口尺寸 | Φ6mm |
冷却方式 | 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2) |
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/2/636946832686369413879.png)