主要技术参数:
一 机械部分:
1. X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构;
2. SAM 301超声波扫描显微镜配有防震系统与惯性平衡机构,隔绝在高速扫描过程中振动影响,确保图像不会因快速扫描而失真;
3. Z 轴行程大于100mm
4. ZSAM 301超声波扫描显微镜轴自动对焦,不仅可以自动对焦到样品表面,而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距,Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描;
5. 扫描范围:Z小0.20 mm × 0.20 mm ; > 320 mm × 320 mm; 可自定义扫描区域,可任意输入或框选扫描面积(正方形,长方形,矩形);同时还能自定义序列扫描,跳过没有样品的空白位置;可自动寻找被测样品的ZX位置和样品边缘尺寸,自动设定扫描范围;
6. 扫描速率:1,500 mm/s
7. 重复精度:+/- 0.1μm
8. 标准工作水槽尺寸:670 *560 * 70mm 或670 * 560 * 150mm 或定制加长工作水槽,配置工字形样品台
二 电子部分:
1. DPR 500 超声波接收和发射器频率带宽:500MHz
2. ADC卡采样频率:1G/秒
3. 前置放大器:L2,H2,H3