MSA-600显微激光测振仪,集多种测量功能于一体,其不仅能测量面内振动和面外振动,还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度,以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据,在降低开发和制造成本的同时提高产品性能,从而缩短设计周期,简化故障处理,提高产品产量。
MSA-600显微激光测振仪是用于分析和可视化微结构(如MEMS)中的结构振动和表面形貌的测量工具。通过将显微镜与扫描激光多普勒振动测量仪,频闪视频显微镜和扫描白光干涉仪完全集成,微系统分析仪采用一体化技术组合,可以明确真实的微观结构响应和地形。
系统:
光学单元
MSA光学单元提供六种配置,允许单独或组合的平面内测量,平面外测量或地形测量。根据系统类型,光学单元包括带有显微镜光学系统的头部以及单点或差分光纤干涉仪。在所有配置中,传感器头都具有优化的显微镜光学系统,集成的LED照明单元和逐行扫描视频摄像机,可为数据管理系统提供实时视频流。
处理单元
处理单元包括带有MSA软件的数据管理系统,接线盒,以及包括振动测量的系统配置,振动计控制器。
软件
该软件包括用于数据采集和评估的不同程序:
•扫描Vibrometer软件进行平面外测量,可提供快速简便的设置,简单的数据采集和出色的3D数据可视化。
•平面运动分析软件类似地控制平面内测量过程并提供动态可视化。
•地形测量系统用于数据采集,分析,2D和3D数据表示的软件,包括剖面切割。
配置
微系统分析仪可配置为涵盖表征微结构所需的许多操作模式和测量范围。下表有助于将适当的系统与应用程序相匹配。我们提供单任务或组合测量的系统。对于平面外振动测量,系统可配置为单光束或差分操作。差分系统可以执行单光束和差分测量。除标准1.5 MHz版本外,还有一个24 MHz选项,包括高频数据采集和高频波形发生器。