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的点火属性 易于清洁 FPM 或金属密封馈入装置 LED 指示器,高压时亮起 对数模拟输出信号 典型应用 高真空压力监控 蒸发镀溅系统基本压力 中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
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