SZT-C SZT-C快速恒压四探针测试仪测试台

SZT-C快速恒压四探针测试仪测试台

一 、功能与结构特征概述

      图1.1  配ST2553-F01探头测硅片       图1.2配ST2558B-F01测ITO薄膜

基本功能：SZT-C快速恒压四探针测试仪测试台，是用来装夹四探针探头，连接四探针测试仪器，放置样品，进行手动方式测试的机具。是四探针法测试电阻率/方块电阻（方阻）仪器的配套测量装置（以下简称测试台）。

基本组成：主要有载物台(180mmX180mm净载物面积)、双相轨道垂直导向单元、测试压力调节单元、探头快速升降扳手(顶部戴红套部分)、探头连接板等单元。

配套与兼容：本测试台可选配本公司所有型号的四探针测试探头，包括钨针四探针探头（测试硬质样品用），镀金合金探头（测试柔性薄膜或涂层方阻专用）；本测试台兼容本公司所有四探针测试仪器。本测试台加配本公司探头，可兼容国内同行绝大多数四探针电阻率/方阻测试仪器。

二、可测半导体材料尺寸  （探头手持方式不限）

直径或边长:SZT-C测试台直接测试方式 Φ15～180mm，或180mm×180mm。

长(或高)度：  测试台直接测试方式 H≤160mm,    其他方式不限.

测量方位：  轴向、径向均可

三 、使用方法

3.1 放置样品：将测试台上部操作扳手向上向后、向上升起测试台探头，如图2.1，将样品放在探头下方测试台板上，然后将测试台上部操作扳手向前向下，压下探头。如图2.1！

对于ST2253-F01钨针探头，探头探针探针缩进量0～4mm,对应探头压力0～2.0K公斤，如图2.2B

对于ST2558B-F01薄膜方阻探头，探头探针探针缩进量0～4mm,对应探头压力0～400克！如图2.2C                                     

调好后，松开手，压力会自动保持。

3.3  测好后，抬起探头，移动样片或移开！

如图2.1

图2.2A测试压力调整示意          图2.2B                       图2.2C