AC200程控伺服型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中的达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
两种型号可选:AC200-SE(标准型)、AC200-PE(高端型)
特点:
内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
7寸触屏控制面板操作系统,更方便操作。
“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
AC200程控伺服型精密匀胶机主要性能指标:
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE)
旋涂程序:Z多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)
马达旋涂转速稳定性能误差 :小于±1rpm(AC200-SE);小于±0.1rpm(AC200-PE)
转速调节精度及重复性: 1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)
AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能
工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec
支持尺寸:碎片至200mm(8”圆晶)
旋涂作业均匀性:小于; ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品外型尺寸:433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构(适于嵌入式手套箱或工作台内)