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固体电介质的电化学击穿的主要概念是:在电场作用下,由于电极和电介质接触处的空气隙或由于在介质中的气孔,气孔中还有空气和水分子,这些气孔电场集中、电场强度高,电场强度先在气隙或气孔上击穿,将其中的水分子、空气分子先行击穿电离,形成臭氧O3–、碱性OH–、二氧化氮NO2,这些极具腐蚀性的不稳定离子很快与周围固体介质分子发生化学反应,致使其性能发生变化,增大了局部的电导或介质损耗,从而降低了介质的绝缘性能。在足够长时间的作用下,绝缘性能完全丧失,也就是发生了电化学击穿。
电化学击穿的过程,首先电介质在电场作用下发生化学反应,引起电介质的老化。然后再发生具有热击穿特点的电化学击穿。
固体介质的电击穿、热击穿和电化学击穿是不能截然分开的,往往同时存在,如带电作业工具1min工频耐压试验的击穿应有电和热的联合作用
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