光栅尺光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。例如,在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测,来观察和跟踪走刀误差,以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。光栅尺按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。
结构
光栅尺是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床固定部件上,光栅读数头装在机床活动部件上,指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。
光栅检测装置的关键部分是光栅读数头,它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多,根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头)。
heidenhain海德汉光栅尺LIDA207精度±15 µm
LIDA 277,LIDA 287 允许较大安装公差的增量式直线光栅尺
• 测量步距0.5 µm
• 自由裁剪钢带光栅尺
• 钢带光栅尺穿入在粘性铝壳中并固定
• 带三色LED的功能显示
• 由光栅尺和读数头组成
规模 | LIDA 207 | |
测量标准 线膨胀系数 | 钢卷尺;光栅周期200微米 therm 10 x 10–6 K–1 |
精度等级 | ±15 µm |
从卷上切下的卷尺* | 3 m, 5 m, 10 m |
参考标记 | 每100毫米可选 |
大规模磁带 秤带载体 | 20 g/m 70 g/m |
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扫描头 | LIDA 28 | LIDA 27 | | |
界面 | 1 VPP | TTL | | |
积分插值* 信号周期 | – 200 µm | 10-fold 20 µm | 50-fold 4 µm | 100-fold 2 µm |
截止频率 扫描频率 边缘分离A | ≥ 50 kHz – – | – ≥ 50 kHz ≥ 0.465 µs | – ≤ 25 kHz ≥ 0.175 µs | – ≤ 12.5 kHz ≥ 0.175 µs |
横移速度 | ≤ 600 m/min | ≤ 300 m/min | ≤ 150 m/min |
插值误差 | ±2 µm | – |
电气连接* | 电缆,1米或3米,带15针D-Sub连接器(公) |
电缆长度 | 见接口说明,但≤30米(带海德汉电缆) |
电源 | DC 5 V ±0.25 V |
电流消耗 | < 155 mA | < 140 mA (无负荷) | |
振动55赫兹至2000赫兹 冲击11毫秒 | ≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27) |
工作温度 | –10 °C to 70 °C |
质量扫描头 连接电缆 连接器 | 20 g (无电缆) 30 g/m 32 g |
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