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气浮旋转台
所属类别：光机产品/精密定位控制系统 » 压电精密定位系统
气浮旋转台
可根据客户要求进行定制
AURT系列气浮旋转台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的，因此在整个使用寿命之内，设备的性能保持不变，并且无需进行特殊维护。该旋转台采用气体轴承可提供平稳的运动并拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的气浮旋转平台主要分为AURT-S和AURT-U两个系。
1）AURT-S系列气浮旋转平台在紧凑的体积中包含空气轴承，电机和编码器，可实现出色的角度定位和速度稳定性，大孔径便于滑环的集成、光学或其它需要光路直通的应用；例如X射线和光学检测应用。AURT-S系列包含以下五款产品。
①AURT-075S和AURT-100S两款气浮转台是AURT-S系列中Z紧凑的产品。这两款空气轴承转台不但拥有紧凑的体积还可以提供优异的运动精度和性能. 可的用在小型设备和多轴运动系统的θ轴。该气浮转台轻巧紧凑的设计是高动态和精确定位应用中的解决方案。
②AURT-150S是一款中档的旋转平台，具有出色的载重能力和低误差的运动性能。低高度和大孔径使该旋转台成为测量和检测应用中的首要选择。
③AURT-250S和AURT-500S是两款大刚度大载重量的气浮旋转台。AURT-250S气浮转台负载能力达到80kg，该平台在轴向和径向拥有极小的误差，和极高的平稳度。AURT-500S是一款超大载重量的空气轴承转台，载重量高达8300N，并且拥有极低的运动误差，集成一个高分辨率编码器可实现稳定的定位和速度跟踪。
2）AURT-U系列气浮转台是同类产品中性能很好的产品。具有超低的运动误差（低于20nm）。追求的设计融合了的性能。该系列的代表产品是AURT-150U，是款超精密气浮旋转平台
此外提供高精度的复杂运动和定位方案：
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
Ø整体解决方案
Ø定制化解决方案
Ø复杂的多轴与并联运动系统
Ø超精密空气与机械轴承
Ø软件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点：
主要应用
l 圆度测量系统
l 微米或纳米断层扫描成像
l 精密制造
l 同步辐射或X射线
l 半导体行业
产品参数：
Air Bearing | |||||||
Units | AURT075S | AURT100S | AURT150S | AURT250S | AURT500S | AURT150U | |
max. axial load | N | 137 | 206 | 434 | 804 | 8300 | 726 |
max. radial load | N | 51 | 78 | 226 | 452 | 2570 | 264 |
axial stiffness | N/μm | 68 | 103 | 217 | 402 | 1660 | 242 |
radial stiffness | N/μm | 25 | 39 | 113 | 226 | 514 | 88 |
tilt stiffness | Nm/mrad | 33 | 90 | 455 | 2380 | 37.4 | 204 |
rad. err. motion | nm LSC | <100 | <100 | <100 | <100 | <100 | <20 |
axial err. motion | nm LSC | <50 | <50 | <50 | <50 | <50 | <20 |
air consumption | NL/min | <4 | <8 | <10 | <15 | <100 | <20 |
angular accuracy | arcsec | ±13.8 | ±10.3 | ±6.9 | ±4.0 | ±2.9 | ±6.9 |
Motor & Encoder | |||||||
nominal torque | Nm | 0.04 | 0.13 | 0.45 | 1.5 | 3.0 | 0.5 |
peak torque | Nm | 0.13 | 0.40 | 1.35 | 4.5 | 9.0 | 1.5 |
max. speed | rpm | 300 | 200-1200 | 200-800 | 120 | 60 | 200 |
encoder | periods | 11840 | 15744 | 23600 | 40000 | 47200 | 23600 |
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