XTY5130351 非接触式三维光学轮廓仪

非接触式三维光学轮廓仪测量原理：相干相关算法（Coherence Correlation Interferometry）垂直方向测量范围（Z）：2.2mm，拼接后可达10mm垂直向分辨率：0.01nm（0.1 Å）垂直方向噪音：＜0.08nm垂直方向测量重复性：＜0.02nmZ大测量区域（X，Y）：6.6mm × 6.6mm，拼接后可达75mm ×75mm光学分辨率（X，Y）：0.4~0.6µm（与被测面有关）工作台尺寸：X，Y=150mm × 150mm，Z=100nm台阶高度重复性：＜ 0.1%测量物镜：2.5× 5× 10× 20× 50× 100×标准平面：平面度＜ 0.2nm （RMS）数据分析软件：Talymap （Golden版），可以分析所有的二维和三维形貌和轮廓参数