场发射扫描电镜技术参数: 分辨率: 1.0nm @ 20KV 1.3nm @ 15KV 2.1nm @ 1 KV 5.0nm @ 0.2KV 2.0nm @ 30KV(VP mode) 放大倍数: 12 - 900,000x 加速电压: 0.1 - 30 KV低压范围: 2-133Pa 1Pa步进可调 探针电流: 4 pA - 10 nA (4 pA - 20 nA 可选) 样品室: 330 mm (Ø) x 270 mm (h) 样品台: 5轴驱动 X = 130mm Y = 130 mm Z = 50mm 倾斜角T = -3 to 70° R = 360°连续旋转 系统控制: 基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制