品牌
自营品牌
供货周期
一周
应用领域
医疗/卫生,环保/水工业,化学品检测,生物产业,石油/化工
电力标准气体广泛用于大规模集成电路(L.S.I)超大规模集成电路(V.L.S.I)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。
硅烷混合气体 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根据用户要求提供 |
磷烷混合气体 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 |
peng烷混合气体 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 |
砷烷混合气体 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 |
硒化氢混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 |
乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 |
锗烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。