太赫兹法布里 - 珀罗标准具 太赫兹法布里 - 珀罗标准具是一种具有固定距离的法布里-珀罗的干涉仪,其反射面是由高电阻率浮子带硅平面板组成。与普通的平面窗口相比,标准具有更好的平整度和并行性。标准具厚度的测量精度很高。 一般规格: 材质 | HRFZ-Si | 类型 | THz Fabry-Pérot Etalon | 直径范围,毫米 | 25.4-150 | 孔径,% | >=90 |
TFPE用于TDS系统的校准、窄带THz源的调整和在THz频率范围内的光谱法厚度测量。 另外,TFPE可以用作窄带滤光片(标准具的微小偏移允许调整透射范围。) 用法示例 校准TDS系统过程以精确测量样品厚度是TFPE使用的一个例子。 实验装置如图1所示。1。
图1.实验装置 该实验涉及测量TFPE透射光谱并确定衍射极大值之间的距离(图2)。 假定距离和HRFZ-Si的折射率(3.416),可以计算TFPE的厚度。
图2.厚度为3.042 mm,0.5 - 1 THz范围内的TFPE透射光谱 测量的厚度值应与质量证书中规定的相同。 任何差异都表明TDS系统需要调整。 以下TFPE可从库存中获得: 零件号 | 直径 | 额定厚度 | 各个标准具参数 | 实际厚度 | 自由光谱范围(FSR) | 带宽(半高全宽,FWHM)Δf | 精细度(F)v | mm | mm | mm | GHz | GHz | - | TEFPHRFZ- Si-D25.4-T3 | 25.4 | 3.0 | 3.042 | 14.4 | 5.5 | 2.6 |
*测量每个特定标准具0.001毫米的精度。 **自由光谱范围(FSR)是TFPE纵向模式之间的频率偏移。 自由光谱范围可以计算为,其中c是光速,l是TFPE的厚度,n是HRFZ-Si的折射率。 *** Finesse(F)是自由光谱范围与带宽(半高全宽,FWHM)的比值。 F(F)可以计算为F =(2∙π)/( - ln(R ^ 2)),其中R是TFPE的反射系数。 |