低损耗反射镜 和 cw/ns-Laser [1030–1064 nm] 连续/纳秒激光镜片
反射率和透光率的主要曲线
低损耗反射镜的反射特性曲线和ZX波长的定义(CWL) 和带宽 (__)
低损耗反射镜的透射特性曲线和ZX波长的定义(CWL) 和带宽 (__)
CWL | RCWL [%] | TCWL [ppm] | λ | R [%] | T [ppm] | Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
350 (±7) nm | > 99.97 | 30 | 35 nm | 99.96 | 50 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140970 140949 |
520 (±10) nm | > 99.99 | 20 | 65 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140969 140964 |
640 (±15) nm | > 99.99 | 20 | 100 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140968 140965 |
760 (±15) nm | > 99.995 | 15 | 110 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140967 140966 |
960 (±20) nm | > 99.995 | 20 | 110 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140992 140974 |
1 045 (±20) nm | > 99.995 | 20 | 120 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140973 140971 |
1 260 (±20) nm | > 99.995 | 15 | 190 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140991 140975 |
1 392 (±20) nm | > 99.995 | 15 | 200 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140989 140976 |
1 550 (±20) nm | > 99.99 | 50 | 130 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140987 140977 |
1 670 (±20) nm | > 99.99 | 25 | 180 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140986 140980 |
1 980 (±20) nm | > 99.99 | 40 | 180 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140984 140981 |
2 300 (±30) nm | > 99.99 | 40 | 220 nm | 99.99 | 100 | Ø 12.7 I t 6.35 I CC 1000 Ø 25.0 I t 6.35 I CC 1000 | R13 S13 | Øe 8 5/ 2 x 0.016 Øe 20 5/ 2 x 0.04 I Øe10 5/ 2 x 0.016 | 140983 140982 |
cw/ns-Laser [1030–1064 nm] 连续/纳秒激光镜片
a Laser Mirror 0° 激光反射镜
b Pump Mirror 0° 泵浦镜
c1 Turning Mirror 22.5 – 45°, 1030 – 1064 nm 调谐镜
c2 Turning Mirror 22.5 – 45°, 515 – 532 nm 调谐镜
d1 Turning Mirror 45°, 1030 – 1064 nm 调谐镜
d2 Turning Mirror 45°, 515 – 532 nm 调谐镜
l1 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 1030 nm 非偏振分束器
l2 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 1064 nm 非偏振分束器
l3 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 515 nm 非偏振分束器
l4 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 532 nm 非偏振分束器
n Separator 45° 分离器
o1 Thin Film Polarizer 56°, 1030 nm 薄膜偏振片
o2 Thin Film Polarizer 56°, 1064 nm 薄膜偏振片
o3 Thin Film Polarizer 56°, 515 nm 薄膜偏振片
o4 Thin Film Polarizer 56°, 532 nm 薄膜偏振片
p Window 0° 窗片
a Laser Mirror 0° Layertec激光反射镜
Coating 141321
HR s,p (0 – 10°, 1030 – 1064 nm) > 99.95 %
LIDT
6/ 50 J/cm2; 1064 nm; 7 ns; Ø 270 μm YERTEC
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 12.7 mm | t 6.35 mm | A4 | 5/ 1 x 0.04 | 141864 |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141868 |
Ø 50.0 mm | t 9.5 mm | C3 | 5/ 4 x 0.063 | 141866 |
b Pump Mirror 0° Layertec泵浦镜
S2: Coating 141325
HR s,p (0–10°, 1030–1064 nm) > 99.95 %
R s,p (0–10°, 808 nm) < 2 %
S1: Coating 141355
AR s,p (0–10°, 808 nm) < 0.2 %
LIDT
6/ 30 J/cm2; 1064 nm; 7 ns; Ø 270 μm LAYERTEC
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 12.7 mm | t 6.35 mm | A4 | 5/ 1 x 0.04 | 141877 |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141881 |
c1 Turning Mirror 22.5–45°, 1030–1064 nm Layertec调谐镜
Coating 141496
Ag + multilayer
HR s,p (22.5–45°, 1030–1064 nm) > 99.7 %
for application outside the resonator
no transmission @ VIS / NIR
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141942 |
Ø 50.0 mm | t 9.5 mm | C3 | 5/ 4 x 0.063 | 141945 |
25 × 25 mm | t 6.35 mm | D2 | 5/ 3 x 0.04 | 141954 |
25 × 36 mm | t 6.35 mm | E2 | 5/ 4 x 0.04 | 141958 |
50 × 50 mm | t 9.5 mm | F3 | 5/ 4 x 0.063 | 141960 |
c2 Turning Mirror 22.5-45°, 515-532 nm Layertec调谐镜
Coating 141497
Ag + multilayer
HRs,p (22.5-45°, 515-532nm) > 99.7 %
for application outside the resonator
no transmission @ VIS / NIR
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141949 |
25 x 25 mm | t 6.35 mm | D2 | 5/ 3 x 0.04 | 141956 |
d1 Turning Mirror 45°, 1030-1064 nm Layertec调谐镜
Coating 141327
HRs,p (45°, 1030 -1064 nm) > 99.95 %
LIDT
6/ 50 J/cm2; 1064 nm; 7 ns; Ø 270μm
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 12.7 mm | t 6.35 mm | A4 | 5/ 1 x 0.04 | 141896 |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141500 |
Ø 50.0 mm | t 9.5 mm | C3 | 5/ 4 x 0.063 | 141904 |
25 x 25 mm | t 6.35 mm | D2 | 5/ 3 x 0.04 | 141953 |
25 x 36 mm | t 6.35 mm | E2 | 5/ 4 x 0.04 | 141957 |
50 x 50 mm | t 9.5 mm | F3 | 5/ 4 x 0.063 | 141959 |
d2 Turning Mirror 45°, 515 - 532 nm Layertec调谐镜
Coating 141329
HRs,p (45°, 515-532 nm) > 99.9%
LIDT
6/ 10 J/cm2; 532 nm; 7 ns; 10Hz; Ø270μm
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141946 |
25 x 25 mm | t 6.35 mm | D2 | 5/ 3 x 0.04 | 141955 |
l1 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 1030 nm Layertec非偏振分束器
S2: Coating 141335
PRs,p (45°, 1030 nm) = 50 (±3) %
I Rs - Rp I < 4 %
S1: Coating 141331
ARs,p (45°,1030 - 1064 nm) <0.7 %
I Rs - Rp I < 0.2 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141604 |
L2 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 1064 nm Layertec非偏振分束器
S2: Coating 141338
PRs,p (45°, 1064 nm) = 50 (±3) %
I Rs – Rp I < 4%
S1: Coating 141331
ARs,p (45°, 1030-1064 nm) < 0.7 %
I Rs – Rp I < 0.2 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141607 |
L3 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 515 nm Layertec非偏振分束器
S2: Coating 141344
PRs,p (45°,515 nm) = 50 (±3) %
I Rs – Rp I < 4 %
S1: Coating 141341
ARs,p (45°,515-532 nm) < 0.7 %
I Rs –Rp I < 0.2 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141608 |
L4 Non-Polarizing Beamsplitter 45°, 532 nm Layertec非偏振分束器
S2: Coating 141346
PRs,p (45°, 532 nm) = 50 (±3) %
I Rs - Rp I < 4 %
S1: Coating 141341
ARs,p (45°, 515 - 532 nm) < 0.7 %
I Rs - Rp I < 0.2 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141609 |
N Separator 45° Layertec分离器
S2: Coating 141359
HRs,p (45°,515- 532nm) > 99.8 %
Rs (45°, 1030 - 1064nm) < 5 %
Rp (45°, 1030- 1064nm) < 2 %
S1: Coating 141377
ARs,p (45°, 1030-1064 nm) < 0.7 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141892 |
Ø 25.0 mm | t 6.35 mm | B4 | 5/ 3 x 0.04 | 141895 |
O1 Thin Film Polarizer 56°, 1030 nm Layertec薄膜偏振片
S2: Coating 141352
TFP (56° *, 1030 nm) Rs > 99.9 % Rp < 2 %
*specifications will be achieved by ±2° angle adjustment
S1: Uncoated; Brewster angle ‑ Rp (56°) ~ 0 %
O2 Thin Film Polarizer 56°, 1064 nm Layertec薄膜偏振片
S2: Coating 141353
TFP (56° *, 1064 nm) Rs >99.9 % Rp < 2 %
*specifications will be achieved by ±2° angle adjustment
S1: Uncoated; Brewster angle ‑ Rp (56°) ~ 0 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141536 |
O3 Thin Film Polarizer 56°, 515 nm Layertec薄膜偏振片
S2: Coating141350
TFP (56° *, 515 nm) Rs > 99.9% Rp < 2 %
*specifications will be achieved by ±2° angle adjustment
S1: Uncoated; Brewster angle ‑ Rp (56°) ~ 0 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141537 |
O4 Thin Film Polarizer 56°, 532 nm Layertec薄膜偏振片
S2: Coating 141351
TFP (56°*, 532 nm) Rs > 99.9 % Rp < 2 %
*specifications will be achieved by ±2° angle adjustment
S1: Uncoated; Brewster angle ‑ Rp (56°) ~ 0%
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141539 |
P Window 0° Layertec窗片
S2+S1: Coating 141348
AR (0°, 515-532 nm) < 0.5 %
AR (0°, 1030-1064 nm) < 0.3 %
Substrate Dimensions | No. | Imperfections | Item # |
Ø 12.7 mm | t 1 mm | A2 | 5/ 1 x 0.04 | 141890 |
Ø 25.0 mm | t 3.05 mm | B3 | 5/ 3 x 0.04 | 141885 |
德国Layertec公司创建于 1990年. 凭借多年在光学镜片的设计开发和生产经验,已成为知名的光学镜片厂商,LAYERTEC的镜片品质非常出众,广泛赢得客户的赞誉。光学镜片应用波长范围从157-2940nm,包括了科研以及工业上主流的激光器的应用,材质有YAG, Sapphire,CaF2,IR-fused silica,Fused Silica,BK7,尺寸大部份为0.5inch-2inch。
Layertec专注于提供激光光学元件的镀膜,波长范围从 VUV(157nm及以下) 到 NIR波段(~4um)。Z常见的光学镀膜类型是高反射镜(从正入射或者AOI=45°的转向镜),用于输出耦合的部分反射镜,以及分束器和用于窗口和透镜的抗反射膜。对于更复杂的激光器镀膜,包括3个以上波长的高反射率(例如激光器波长和倍频波长),以及3个以上波长的高透射率(例如泵浦波长,倍频或者YZ其他激光波长)。宽带反射镜,针对平滑群延迟和群延迟色散光谱优化的反射镜,这些在宽带激光输出应用中会用到,例如染料激光器,钛宝石激光器,光参量震荡器(OPO)和飞秒激光器。
除了反射率和透射率,激光应用的镀膜必须满足低光学损耗和高激光损伤阈值。
在VIS和NIR波段的溅射光学镀膜具有低杂散光和低吸收损耗(数量级都在10–5)。磁控溅射镀膜的HR镜反射率或者部分反射镜的反射透射率之和都超过99.9%。Z近测量了在溅射和蒸发镀膜中的NIR波长吸收损耗都在3-30ppm。在VIS-NIR波长范围,蒸发镀膜会产生杂散光损失大约10-3级,在UV和VUV波长可以达到10-2。尽管如此,蒸发镀膜在UV波长的吸收损耗比较低。
在CW和纳秒激光器光学元件的损伤主要跟热效应有关,例如增大的吸收,镀膜材料的固有吸收或者缺陷造成的吸收, 或者 镀膜较差的热导率 以及较低的熔化温度。 高能量的镀膜要求控制镀膜材料的固有特性以及减少膜层的缺陷。皮秒和飞秒激光元件的激光损伤主要是场应造成的。针对这类激光器的高功率镀膜要求非常特殊的设计。
根据ISO 11254-1 (cw- LIDT and 1 on 1–LIDT, 例如单脉冲 LIDT), ISO 11254-2 (S on 1, 例如多脉冲 LIDT) 以及 ISO 11254-3 (一定数量的脉冲LIDT )标准中对激光损伤阈值LIDT的定义要求激光系统工作在单频模式下,精确的光束诊断和在线/离线损伤探测系统。因为这个原因,数量有限的配有少数几种激光器的测量系统可以使用(例如Laserzentrum Hannover 公司的1064nm)。对于比较特殊的激光器波长例如氩离子激光器(488nm或者514nm),没有测量系统可以用来验证LIDT数据。
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