品牌
自营品牌
背散射电子图像分辨率
5nm
二次电子图象分辨率
5nmnm
加速电压
30kVkV
放大倍数
10万倍x
价格区间
50万-100万
仪器种类
场发射
韩国SEC SNE-4500M型高分辨台式扫描电镜技术参数: 电子光学系统 | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次电子成像) |
放大倍率 | 20x~100,000x |
加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
探测器 | 二次电子探测器(SE) |
电子枪 | 预对中钨灯丝 |
载台系统 | 载台运动 | 5轴系统 (X, Y, R, Z, T -手动) |
X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° |
Z-轴: 0~35mm / Tilt-轴 : 0~45° |
* 影像偏移 : ±150μm |
Z大样品尺寸 | 80mm(Φ)*35mm(H) |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮度 |
图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
真空系统 | 真空模式 | 高真空(低真空可选) |
真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动) |
尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |