TiN oxford-instruments TiN的各向异性刻蚀-刻蚀氮化钛

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Titanium Nitride (TiN) ICP EtchingThe SEM image shows anisotropic nanoscale TiN etching ( 90 nm line) Courtesy of AMO Aachen** See also M.C. Lemme, J.K. Efavi, T. Mollenhauer, M. Schmidt, H.D.B. Gottlob, T. Wahlbrink,H. Kurz, "Nanoscale TiN metal gate technology for CMOS integration", Microelectronic Engineering, 83(4-9): 1551-1554, 2006. PlasmaPro 100 ICP180 PlasmaPro 100 ICP380Etch rate: > 100 nm/ min > 100 nm/ minSelectivity to HSQ: >2:1 >2:1Selectivity of gate SiO2: Up to 80:1 in overetch step Up to 80:1 in overetch stepUniformity: < ± 3 % < ± 3 %Wafer size: Up to 100mm Up to 200mmAgilent 83497A 光电时钟恢复模块Agilent 8157A 光衰减仪Agilent 81637B 快速功率计Agilent 34570A 数字万用表Agilent 44476A 微波复用器模块Agilent 70004A 光谱分析仪Agilent 81000FI 光纤连接器Agilent 81002FF 积分球Agilent 81521B 光功率计探头Agilent 81524A 光功率探头Agilent 8152 大功率光学探头Agilent 81533A 接口模块Agilent 81533B 接口模块Agilent 81536A 光功率计传感插件Agilent 81560A 可变光衰减器Agilent 81567A 可变光衰减器模块Agilent 8156A 光衰减器Agilent 81578A可变光衰减器模块 Agilent 81610A回损测试模块Agilent 81619A 光功率模块Agilent 81624A 光学探头Agilent 8162 光功率探头Agilent 81633A 分布式反馈(DFB)激光器Agilent 8163 双光功率传感器Agilent 8163A光功率计主机Agilent 8163B 光功率计Agilent 8164A 光波测量系统主机Agilent 81650A 单法布里-珀罗激光源Agilent 81651A 光源模块Agilent 81654A 法布里-珀罗激光源Agilent 81662A 分布式反馈(DFB)激光器Agilent 8168E 可调谐激光源 Agilent 83440D光波转换器Agilent 83480A 数字通信分析仪Agilent 83483A 双通道电模块Agilent 83486A 光电模块Agilent 83487A 光电模块Agilent 83492A 多模时钟模块Agilent 83493A 单模时钟恢复模块Agilent 83494A 单模时钟恢复模块Agilent 8349 时钟恢复模块Agilent 83496A 光电时钟恢复模块Agilent 86100A 光示波器Agilent 86100C 宽带示波器主机Agilent 86103A 光电模块Agilent 86103B 光电模块Agilent 8610 光电模块Agilent 86105B 光电模块Agilent 86106B 光电模块Agilent 86107A 精密时基参考模块Agilent 86120B 多波长计Agilent 86120C 多波长计Agilent 86142B 高性能光谱分析仪Agilent 86146b 光谱分析仪Agilent N7740 多端口光功率计 Ando AQ2140光功率计Ando AQ2730光功率计模块 Ando AQ2742 光功率传感器Ando AQ2743 光功率传感器Ando AQ4211LD组件Ando AQ4215 光功率计Andu AQ-4137 光源Andu AQ-4142 光源Anritsu 69347B 信号源Anritsu MN9610B光衰减器Anritsu ms9710c 光谱分析仪Anritsu MS9740A 台式光谱分析仪CVI Melles Griot 05-LHP-211-1 激光器Ericsson FSU-975 光纤熔接机Exfo IQS-3150 可变衰减器EXFO WA-1650 光波长计 HP 8153A 光功率计HP 8153B 光波万用表HP 81551MM 点光源模块HP 83540A 插件信号源HP 8595E 频谱分析仪IFR GPS-101定位系统模拟器Jdsu HA9 光衰减器JDSU OLP-55 光功率计Keithley 7001半导体开关系统 Keithley 2001A 数字多用表Keithley 2400 数字源表Keithley 2400-C 数字源表Keithley 2500 数字源表Keithley 2502 数字源表KEITHLEY 6221 电流源表Keysight 11708A 衰减器垫Keysight 3458A 数字多用表Keysight 34903A GP开关模块Keysight 81570A 可变光衰减器模块Keysight 81618A 接口模块Keysight 81623B 锗光功率探头Keysight 81630B 大功率光传感器Keysight 81634B 低偏振相关光功率传感器Keysight 81636B 光功率传感器Keysight 8164B 光波测量系统主机Keysight 82357B GPIB 卡Keysight 86100D 宽带宽示波器主机Keysight 86105C 光电采样模块Keysight 86105D 光电模块Keysight E3631A 三路输出电源Keysight J7231B 抖动通信性能分析仪Keysight N5181A 射频模拟信号发生器Keysight N5980A 比特误码率测试仪Keysight N7744A 多端口光功率计Keysight N7748A 高性能光功率计Newport 818-IG高性能光电二极管传感器Newport 918-IG 高性能光电二极管传感器Newport 918-ir 高性能光电二极管传感器NI PCI GPIB小卡NI PXI-1031 板卡Photom EP-712 光功率计Picometrix PT-12B 光电转换芯片R&S FSP3 频谱分析仪R&S NRPZ51 射频功率计R&S NRPZ55 射频功率计R&S NRP-Z55 射频功率计Tektronix DPP125B 误码仪Tektronix 80C02 光采样模块Tektronix 80E04 双通道时域反射计 Tektronix DSA8200 采样示波器Tektronix DSA8300 数字采样示波器USHIO UXM-Q256BY点光源YOKOGAWA AQ2200-421 单槽型光开关YOKOGAWA AQ2201 帧控制器主机光示波器/眼图仪—Agilent 86100A, Agilent 86100B, Agilent 86100C, Agilent 86100D,Agilent 8610, Agilent 86105B, Agilent 86116C, Agilent 86105D, Agilent 86103A, Agilent 86106B, Agilent 86103B, Agilent 83493A, Agilent 83496A, Agilent 86118A, Agilent 54754A，Tektronix DSA 8300，Tektronix DSA 8200，Tektronix 80C08，Tektronix 80C15，Tektronix 80C07, Tektronix 82A04，Tektronix 80E04,Anritsu MP2100B光谱分析：Agilent 86142B, Agilent 86146B,Agilent 86140B,Anritsu MS9740A,Anritsu MS 9710C,Anritsu MS9710B,Yokogawa 6317B,Yokogawa:6370D波长计：Agilent 86122A,Agilent 86120B,Agilent 86120C,EXFO WA1600,EXFO WA1650,EXFO WA1100光衰减器：Agilent 8156A,Agilent 8157A，Agilent 81570A,Agilent 81571A,Agilent 81576A,Agilent 81577A，Agilent 81567A,JDSU HA-9光万用表:Agilent 8164A,Agilent 8164B,Agilent 8163A,Agilent 8163B,Agilent 8153A,Agilent 8166B,Agilent N7744A,Agilent N774,Agilent N7748A,Agilent 81632B,Agilent 81633A,Agilent 81634A,Agilent 81634B,Agilent 8163,Agilent 81636B,Agilent 86137B,Agilent 81623A,Agilent 81623B,Agilent 81624A,Agilent 81624B,Agilent 8162,Agilent 81625B,Agilent 81626B,Agilent 81628B,Agilent N7752A误码仪：Agilent N5980A,Agilent N4901A,Agilent N4903A,Agilent N4906A光开关：Agilent 81595B,Agilent 86062C,JDSU SB optical switch可调光源：Agilent 81640A,Agilent 81642A,Agilent 81680A，Agilent 81682A，Agilent 81600B网络分析仪：Agilent E5071C，Agilent 8722ES,Agilent 8720ES,Agilent E5061B,Agilent E5062A，R&S ZNB射频信号源：Agilent E4438C,Agilent 8257D，Agilent N5181A,Agilent N5182A,Aglent N5182B,Agient N5183A,Agilent 8257D，Agilent 8267D频谱分析仪：Agilent E4440A,Agilent N9010A，Agilent N9020A，Agilent N9030AWifi/蓝牙测试仪：Anritsu 8852B,LitePoint IQxel 80，,LitePoint IQXEL 160，,LitePoint 2011，,LitePoint IQ flex，Agilent N4010A