暗场照明 暗场照明用于晶片检查

在工业图像处理中，暗场照明在高反射表面的研究尤为重要。该光束以低角度入射角被引导到物体的表面上，对于一个无瑕的表面反射，不会撞击在相机上而扫描出现完全黑暗。

然而，如果表面凹凸存在任何损伤如划痕、裂缝，杂质如灰尘、绒毛和脂肪，然后入射光的一小部分被漫散射，由照相机镜头所拍到达传感器，呈亮色。因而细小凹凸不平因此可以检测到，使透镜的分辨率扩大到极限。

应用领域

高反射性材料的表面检查，诸如芯片，晶片或镜像表面，突出轮廓，划痕，骨折，灰尘颗粒和污物。