产品概述: YTJ 高纯净型压力表主要应用于半导体领域。产品根据洁净度等级,可分为 (YTJA) A 级 (YTJB) / BA 级 (YTJE) / EP 级 3 种类型
◆ 根据使用特性可选择 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的测压元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR(M)、1/4VCR(F)等多种连接形式。
◆ 所有零部件都经过超声波纯水处理。
◆ 选用无氧真空室的高纯氩气保护焊接作业 。
◆ 产品经过严格的耐压及气密性检测。气密性可达到 1 × 10-10 Pa·m3 /s。
◆ 测量范围:-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度:1.5%;2.5%。
高纯净表洁净度等级
A 级 清洗:药液超声波清洗,纯水超声波清洗 组装调试:洁净室(洁净度 10000) 包装:N2 气体吹扫,密封包装
BA 级 零件:(气体接触部位)机械抛光处理 清洗:药液超声波清洗,纯水超声波清洗 洁净度:等级 VI(ASME B40,1 Level) 组装调试:洁净室(洁净度 10000 ISO Class4) 工作台(洁净度 100 ISO Class2) 包装:N2 气体吹扫,PET 袋真空密封包装
EP 级 零件:(气体接触部位)电解抛光 清洗:药液超声波清洗,纯水超声波清洗 洁净度:(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼 不可见微粒子数量 10 个以内。 组装调试:洁净室(洁净度1000 ISO Class3)工作台(洁净度100 ISO Class2) 包装:N2 气体吹扫,PET 袋真空密封包装
型号:YTJA-40.AO