设备尺寸 2300mm *2200mm * 2600mm
处理时间 (1 处缺陷/片 ,包括定位时间) 20 秒
能够处理的面板尺寸范围 13.3" ~100.0"
面板厚度 0.1mm~2.2mm 规格 运动精度 ±1um
定位精度 ≤±5um
激光扫描精度 ≤±0.2um
Slit精度 ≤±1um
自动聚焦物镜切换ZX偏移 ≤±1um
激光 X向单次处理范围:1um~50um;
Y向单次处理范围:1um~50um
激光波长:1064&532& 355 nm
处理方式:直接碳化
图像采集 CCD采集和图像自动校准
机构移动 直线电机
控制系统 闭循环控制
PCB夹具 包含
聚焦方式 实时自动聚焦
面板自动对位方式: CCD图像识别
液晶气泡或者损伤 无
洁净室 1000级
ESD防护 离子风防护