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高精度三维轮廓测量仪是采用光梳技术的3D轮廓扫描仪,可以测量250000点或位置扫描30mm X 30mm的XY区域。高精度三维轮廓测量仪与其他型号相比,测量范围小,但精度更高,为1um。可以测量高达6mm的深度(Z轴)。该高精度三维轮廓测量仪适用于以较低速度高精度测量小物体。高精度三维轮廓测量仪是采用光梳技术的3D轮廓扫描仪,可以测量250000点或位置扫描30mm X 30mm的XY区域。高精度三维轮廓测量仪与其他型号相比,测量范围小,但精度更高,为1um。可以测量高达6mm的深度(Z轴)。该高精度三维轮廓测量仪适用于以较低速度高精度测量小物体。
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