PTL-普特勒真空低温等离子技术普特勒实验室专用小型真空等离子清洗机
PTL真空等离子系统致力于为航空航天、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学YL、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案,以帮助客户提高产品质量、提升生产效率,同时降低对环境的不良影响。
PTL等离子清洗和等离子刻蚀设备。采用集成化技术开发生产射频频率为40KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用前沿技术的2.45GHz的等离子清洗机。
PTL真空等离子表面处理系统的特点:
普特勒实验室专用小型真空等离子清洗机
普特勒电镜铜网碳膜活化专用等离子清洗机
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
GX的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单
PTL真空等离子工艺的工艺范畴
PTL真空等离子系统广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其配件均选用其行业的Z优质产品,以保证性能技术稳定。
普特勒电镜铜网碳膜活化专用等离子清洗机