产地类别 进口
主要特征Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用导轨部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用润滑油,避免了污染真空环境,影响真空度适用Z高真空度10-5Pa的环境
应用电子、半导体制造装置(EB装置等)新一代半导体设备的研究开发其他纳米科技研究
线性马达规格
ZY精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
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