这款压电物镜聚焦定位器,压电物镜聚焦定位台是Z轴压电定位台和Z轴压电定位器,Piezo Positioning Stage,广泛用于扫描探针显微镜,原子力显微镜的纳米定位和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件亚纳米定位和探针亚纳米定位应用。
压电物镜聚焦定位器,Z轴压电定位台活动的ZX部件挂在柔性弹簧上,由压电驱动器驱动,确保了应用的高刚度和高稳定性。Z轴压电定位台的设计为运动提供了的线性和平整度,与经典的采用压电陶瓷管的扫描仪相比,它的扫描表面是球形。此外,与脆弱的压电管相比,平行平面纳米扫描台具有高机械强度。
,Z轴压电定位台配备了电容位移传感器,包括在数字反馈链系统内,进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动,消除了对压电陶瓷的蠕变效应。测量电容传感器的TDC芯片(时间数字转换器),安装柱离传感器Z近的位置,发出电子信号与测量得的电容成正比。这样可以将外部噪音的影响降至Z低,还可以使用长电缆连接到控制器。
Z轴压电定位台特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
垂直方向上的位移行程100µM
超高分辨率,为0.1nm
可以负载的样品重量高达300g
低成本
设计紧凑,重量轻,刚度高
是显微镜应用的理想定位装置
通用性强
具有真空型号
设计在单轴上移动和定位。特别是,沿光轴移动透镜,对应样品表面或样品中的对象来观察聚焦位置变化。而且,先进的Z轴目标纳米定位台是3D激光共聚焦显微镜的一个关键元件。与XY工作台联合在XY平面中使用,这样先进的系统可以得到各种物体的完整三维激光共聚焦图像。并且,Z轴目标纳米定位台虽然只可以移动显微镜透镜,但是使用没有受限。
使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000,或是NSpec软件控制 8NTS-Z压电工作台。
应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
微操作等。
产品规格
运动性能
主动轴 Z
分辨率(闭环), nm 1
分辨率(开环), nm 0.1
整个范围内的角度倾斜, ° <0.01
Z大扫描速度,Hz 10
控制性能
电容量Z轴, pF 15
力学性能
谐振频率Z轴, kHz 0.5
负载力, g 300
工作温度范围,°C - 40…80
尺寸, mm 108 x 73 x 67.5 mm
材质 铝