技术参数:1.点分辨率:0.19nm2.线分辨率:0.14nm3.加速电压:80, 100, 120, 160, 200kV4.倾斜角:255.STEM分辨率:0.20nm主要特点:1.高亮度场发射电子枪。2.束斑尺寸小于0.5nm。3.新式侧插测角台,更容易倾转、旋转、加热和冷冻,无机械飘移。4.稳定性好、操作简便。5.微处理器和PC两套系统控制,防止死机。
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