美国康宁Flat Master 1400平面度仪
美国康宁Flat Master 1400平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界ling先的平面度及表面形态测量。
| 通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。 美国康宁Corning Tropel研制的高精度平坦度、平整度(Flatness)检测设备;在国外的有着成熟的应用,可以对BareWafer、Disk和精密工业部件的进行多参数的平坦度检测。 |
美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。
FlatMaster 1400针对LCD图形掩膜,提供速、可重复及的全表面平面测量,以满足下一代平板显示要求。
Tropel Flat Master 1400平面度测量系统利用其非接触、切线入射技术和基于Corning Tropel品Pai现有FlatMaster技术的子孔径拼接干涉计(stitching interferometer),FlatMaster 1400对图形掩膜表面进行光栅扫描,并组合200mm x 200mm测量结果。Z终可以得到达220mm x 1400mm和更大面积图形掩膜的完整表面分析。
针对大型LCD图形掩膜制造商而设计,上海量博实业有限公司供应的美国康宁FlatMaster 1400使制造商可以对从研磨(grinding)到Z张抛光(polish)的制造工艺进行的监控和改进。
“FlatMaster 1400是一种明确的工艺改进方法。该系统允许图像掩膜可以被迅速测量以确定制造过程是否在控制之中,而后如果需要的话进行调整。”
目前生产高清液晶电视需要的大屏幕面板需要更大更平的图形掩膜,这样才能确保LCD电极的性。而FlatMaster 1400可以有效确保大尺寸图形掩膜的平整性。