EasyCoater 4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。
EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。
◆ 结构紧凑
EZ4外型尺寸为:210(W)*250(D)*200(H),特别适合放于手套箱内操作。Z大可旋涂4寸圆晶的底物。
◆ 简单易用
文本显示屏,界面简单易用,清晰的功能按键,方便灵活操作。
◆ 程控操作
可提供单步或多步编程旋涂工艺运行,Z多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。
◆ 性能稳定
工业级直流马达,单片机控制,转轴旋转稳定,重复性好。
◆ 设计新颖
全铝合金外壳,阳极氧化铝耐腐蚀机身。全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔,PC耐腐蚀透明盖。
产品参数说明:
? ●PP耐腐蚀、易清洁注塑内腔,HDPE耐腐蚀真空吸盘
? ●阳极氧化铝耐腐蚀机身,美观耐用
? ●耐溶剂性PC透明盖子,恒定扭矩定位功能
? ●文本显示器,按键控制
? ●75W直流无刷电机,单片机控制
? ●可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物
? ●转速可控范围:100-10000RPM,转速分辨率:1RPM
? ●加速度可控范围:100-10000RPM/S
? ●可进行多步程序运行,Z多编辑运行5步程序
●宽输入电压适用:AC100-230V输入
产品外形尺寸:
外形尺寸:210 (W) * 250 (D) * 204 (H)