莱宝真空泵SOGEVAC系列是单极油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀(选配)、出口过滤器、回油线路和和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。
安装在泵体中的偏心转子)有三块叶片,它们把泵分成三个隔室,每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。
当转子旋转时,抽空腔的进气部分容积扩大,将气体从进气口吸入,气体经过空气滤芯,打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转,叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少,气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、润滑和泵冷却的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集。而后在出口油雾分离器中被彻底过滤。于是,排气中油含量下降至低于可见程度。
注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性、易燃或易爆气体。
2 所有工业品的生产与技术成果都必须经历广泛、高投入的研究与发展阶段。只有经过仔细研究、测试和开发过程的新产品才能投入到生产或大规模应用中。
应用于各研发领域的真空设备、装置及零备件,其尺寸和能力都是不同的。我们为满足这些研发用途而专门开发和生产特殊的专业产品。因此,我们能由始至终参与到客户的整个生产工艺过程中,并获得宝贵的经验以使本行业的合作伙伴也能根本受益。
半导体行业正持续迅速的发展着,为能满足客户对产品和工艺快速不断变化的需求,我们与客户之间的沟通从未象今天这样如此重要。
真空设备在所有半导体生产过程中发挥着极为重要的作用,针对特殊的生产要求必须选择适合的真空设备。
过去的几年里,为完全满足半导体行业需求,我们缩短产品开发周期,更加迅速的推出新的产品,大大提高了我们的服务质量。
需在真空条件下操作的分析仪器行业是真空设备Z大和Z复杂的市场之一。这一市场包括平面分析仪器家族,质谱分光光度计,设计各异的电子显微镜和氦检漏仪。
我们的产品类型众多,可适用于实验室研发及Z简单的桌面操作。一些关键的性能参数显示出莱宝真空泵、测量装置及部件的工作能力,紧凑的结构设计,高超的技术水平和良好的稳定性能。
莱宝——薄膜技术领域
薄膜技术多为无形但GX的,其应用包括:建筑玻璃上镀膜以隔热和防辐射,眼镜片上镀膜以防止眩光和划伤,光盘与冷光灯镀膜以加强光和射线的反射,工具和轴承上镀膜以避免磨损等。
如果不采用真空技术及特殊设计的真空部件,这些都不可能实现。
真空技术常常用有利于环保的工艺取代那些危害环境的工艺。真空泵及其它真空部件,如测量仪器和检漏仪可广泛应用于以下各工业领域:
·食品真空包装
·环保冰箱、空调
·高纯度与高强度金属的生产
·灯泡和彩色显像管
·平面显示器制造
许多年来,莱宝公司一直对于真空技术基础的研究和发展大量投入,总投入已达到我们总收入的10%,这也是莱宝能提供颇具有吸引力新型真空产品的重要原因。
发展新技术的过程中,莱宝不仅以产品的实际应用为导向,而且更加关注产品的整体质量。所有的泵及其附件在开发阶段,必定经过特殊的压力与持久性测试。莱宝与莱宝所有供应商的生产过程,都处于持续监控之中,以保证任何可能出现的产品缺陷都将在早期生产阶段被检测并及时消除。
主要技术参数
抽速:10立方米每小时~1400立方米每小时
极限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B极限真空度为
<0.5mbar (无气镇分压强)
<1.5mbar (带气镇分压强)
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的极限真空度为
<8×10负二次方mbar (无气镇分压强)
<7×10负一次方mbar (带气镇分压强)
排水蒸气能力:0.3~23公斤/小时