罗茨真空泵的Z大优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率,但它不能单独使用,必须有一台前级真空泵串联,待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时,才能开始工作,并且在一般情况下,不允许高压差工作,否则将会过载和过热而损坏,因此使用必须合理地选用前级真空泵,安装必要的保护设备。 前级真空泵一般可选择油封机械泵或液环真空泵,特别在抽除有大量水蒸汽的气体时,选用水环真空泵作为前级泵是很理想的。
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