激光微加工服务 微结构加工服务 激光微加工 激光刻蚀

上海屹持光电技术有限公司专业提供各种微纳结构加工服务

典型案例：

                                                                         FIB加工微纳结构                                                           紫外光刻微纳结构

单晶硅反应离子刻蚀图片   

ICP 刻蚀微纳结构

纳米压印点线图

微流控细胞打印

EBL  刻写微纳阵列

 FIB 用于器件电极沉积

 激光直写图案

激光直写器件

微纳结构加工主要设备

1，电子束曝光系统；

2，聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统；

3，双面对准接触式紫外光刻机；

4， 单面对准紫外光刻机；

5，金属高密度等离子体刻蚀机；

6，硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机；

7，反应等离子体刻蚀机；

8，纳米压印机。