参数:
1电子光学系统:
1.1 分辨率: 二次电子 (SE) 像
1.1.1 高真空模式:30 kV时1.0 nm;1 kV时3.0 nm
1.1.2 低真空模式:30 kV时1.4 nm;3 kV时3.0 nm
1.1.3 环境真空模式 (ESEM):30kV 时 1.4nm
1.2 分辨率: 背散射电子 (BSE) 像:30kV时2.5nm
1.3 加速电压: 0.2kV-30KV
1.4 放大倍数:6倍-100万倍 (四幅图像显示)
1.5 电子枪:Schottky肖特基场发射电子枪,Z大束流200nA
1.6 物镜光阑:物镜光阑应能自加热自清洁;无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
1.7 二次电子和背散射电子成像系统: 自动调节和手动调节亮度、对比度
2样品室
2.1 样品台:五轴马达驱动,对中样品台
移动范围:X
= 150mm,Y =150mm,Z = 60mm
T = -5° to +70°
R= 360°连续旋转
2.2 样品室尺寸: 左右内径 284mm
2.3 分析工作距离 10 mm
2.4 重复精度:2um (X/Y 方向)。