组成：
G400气体混合器
可混合气体种类
9种
Z大流量控制范围
0.5SCCM～200SLM
Z大流量控制精度
0.2%满量程或0.8%读数
每个控制器可提供多种混合气体
每个控制器可储存13中标准气体
控制方式
手动和自动
C950多路气体交换软件
气体流量控制器
G248 4通道
G245 8通道
气体交换
G243 4通道
G244 8通道
产地：加拿大
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